精密預(yù)處理： 廢水首先經(jīng)過均質(zhì)調(diào)節(jié)，并可能進(jìn)行必要的中和（調(diào)節(jié)pH以優(yōu)化后續(xù)蒸發(fā)或控制氨氮形態(tài)）及過濾（去除大顆粒雜質(zhì)或部分懸浮物），保護(hù)蒸發(fā)核心設(shè)備免受堵塞或過度結(jié)垢。

　　低溫蒸發(fā)核心： 預(yù)處理后的廢水進(jìn)入真空蒸發(fā)室。系統(tǒng)維持高真空度，使水在低至30℃左右即沸騰蒸發(fā)。蒸發(fā)所需熱能由高效熱泵（主要消耗電能）或低品位余熱提供，能耗遠(yuǎn)低于傳統(tǒng)蒸發(fā)。

　　污染深度分離： 蒸發(fā)產(chǎn)生的水蒸氣（幾乎為純水）上升，而廢水中的溶解性鹽類、重金屬、氟化物、有機(jī)物、研磨顆粒等幾乎所有不揮發(fā)污染物則被截留在濃縮液中，實現(xiàn)污染物的高效分離與富集。

　　優(yōu)質(zhì)冷凝水回用： 純凈蒸汽被冷凝器冷卻，轉(zhuǎn)化為高品質(zhì)的冷凝水。此水質(zhì)極佳（電導(dǎo)率通常<50μS/cm，污染物去除率>99.9%），可直接回用于對水質(zhì)要求較高的生產(chǎn)線清洗環(huán)節(jié)，實現(xiàn)水資源循環(huán)利用。

　　濃縮液專業(yè)處置： 富集了高濃度污染物的少量濃縮液（體積大幅減少90-95%），作為危險廢物委托給具備資質(zhì)的單位進(jìn)行最終安全處置（如焚燒、固化填埋），處置成本因量大減而顯著降低。

　　低溫蒸發(fā)的核心價值在于：

　　穩(wěn)定達(dá)標(biāo)保障： 對復(fù)雜多變的半導(dǎo)體廢水適應(yīng)性強，產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定可靠，滿足日益嚴(yán)格的環(huán)保排放或高標(biāo)準(zhǔn)回用要求。

　　成本優(yōu)勢顯著： 低運行溫度帶來超低能耗；廢水量大幅縮減（90%以上）使危廢處置費用銳減；可回用水資源創(chuàng)造額外經(jīng)濟(jì)效益。

　　環(huán)境友好先鋒： 最大限度回收水資源，顯著減少危廢外排量和碳排放，契合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綠色制造與可持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略目標(biāo)。

　　30℃低溫蒸發(fā)技術(shù)通過低溫高效分離，將半導(dǎo)體廢水轉(zhuǎn)化為可回用的優(yōu)質(zhì)水源與極小量濃縮危廢，為芯片制造行業(yè)提供了兼具技術(shù)先進(jìn)性、經(jīng)濟(jì)性和環(huán)境友好性的廢水治理終極方案，是推動產(chǎn)業(yè)清潔生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)支柱。