精密預處理： 廢水首先經過均質調節，并可能進行必要的中和（調節pH以優化后續蒸發或控制氨氮形態）及過濾（去除大顆粒雜質或部分懸浮物），保護蒸發核心設備免受堵塞或過度結垢。

　　低溫蒸發核心： 預處理后的廢水進入真空蒸發室。系統維持高真空度，使水在低至30℃左右即沸騰蒸發。蒸發所需熱能由高效熱泵（主要消耗電能）或低品位余熱提供，能耗遠低于傳統蒸發。

　　污染深度分離： 蒸發產生的水蒸氣（幾乎為純水）上升，而廢水中的溶解性鹽類、重金屬、氟化物、有機物、研磨顆粒等幾乎所有不揮發污染物則被截留在濃縮液中，實現污染物的高效分離與富集。

　　優質冷凝水回用： 純凈蒸汽被冷凝器冷卻，轉化為高品質的冷凝水。此水質極佳（電導率通常<50μS/cm，污染物去除率>99.9%），可直接回用于對水質要求較高的生產線清洗環節，實現水資源循環利用。

　　濃縮液專業處置： 富集了高濃度污染物的少量濃縮液（體積大幅減少90-95%），作為危險廢物委托給具備資質的單位進行最終安全處置（如焚燒、固化填埋），處置成本因量大減而顯著降低。

　　低溫蒸發的核心價值在于：

　　穩定達標保障： 對復雜多變的半導體廢水適應性強，產水水質穩定可靠，滿足日益嚴格的環保排放或高標準回用要求。

　　成本優勢顯著： 低運行溫度帶來超低能耗；廢水量大幅縮減（90%以上）使危廢處置費用銳減；可回用水資源創造額外經濟效益。

　　環境友好先鋒： 最大限度回收水資源，顯著減少危廢外排量和碳排放，契合半導體產業綠色制造與可持續發展的戰略目標。

　　30℃低溫蒸發技術通過低溫高效分離，將半導體廢水轉化為可回用的優質水源與極小量濃縮危廢，為芯片制造行業提供了兼具技術先進性、經濟性和環境友好性的廢水治理終極方案，是推動產業清潔生產的關鍵技術支柱。